ジャンクで目指す
走査型電子顕微鏡のページ

その１8：予備実験と装置の製作

２０１６年
８月１６日
３磁極レンズを組み立て用のジグを作ります。ケースに磁極を入れる時に磁極がケースに付いてしまい、非常に組み立てにくいです。ポリエチレンからジグを作ります。まず、ケースに入るように外形加工します。


続いて、ドリルで中穴を開けて、磁極が入るように中ぐりします。


ジグを使ってレンズを組み立てます。スムーズに組立できます。


次に磁極間の間隔を決めるスペーサをアクリルから作ります。レーザ加工機を使って３ｍｍ厚で作製。


磁極の間にスペーサを入れてレンズを組み立てました。スムーズに組立できます。ホルダに取り付けます。


８月１８日
早速、組み立たてて、３磁極レンズを実験してみます。


上の写真のように蛍光面をベース近くに置いた状態でスポットが一番小さくなるように加速電圧を調整すると１．２ｋＶとなりました。


蛍光面の下に台を敷いてレンズに近づけて、同じくスポットが一番小さくなるように加速電圧を調整すると同し１．２ｋＶとなりました。レンズになってない？みたいです。予想では加速電圧でスポットの大きさが変わるはずでした。


上の状態でレンズを取り外すと下の写真のようになりますした。ベルジャー内にアクセスするには１０〜１５分くらいの時間がかかり、なかなか面倒です。ちゃんと動く、モーションフィードスルーを作る必要があります。以前、磁石を使った非接触モーションフィードスルーは磁気の影響で使えません。



９月１８日
アノードの形状を変えます。電子銃とレンズの間をもっと近ずけられるように、アノードを筒状から板へ変更しました。調整中にフィラメントが折れたので新規に作製しました。フィラメントとアノードのアライメントを調整します。


フィラメントのエージングと電子放出のテスト。３磁極レンズを挟んでみます。当然前と同じです。