ジャンクで目指す
走査型電子顕微鏡のページ
その５：真空環境の整備
２０１４年
１２月２７日
モ
ノタロウで購入した部品です。真空のフィードスルー（電流導入端子）は新品だと、えらく高いのでスパークプラグで代用します。ベンさんのＹｏｕＴｕｂｅ参照のこと。型番はＣ６ＨＳＡです。抵抗の入っているものは使えないので注意します。いっしょに
１０ｍｍの１ｍｍピッチのタップも購入しておきました。右はＧＮＤ側電極外して中心電極にケーブルを半田づけしたところ、電極はニッケルでしょうか？普通に半田づけできます。碍子の方が真空側です。１２個購入しました。
これもモノタロウの熱電対真空ゲージとイオンゲージ用のシールドケーブルです。長さは１０ｍ。
１９インチラックが載るようにＯＳＢでラックを延長します。水性ペイント完了。
延長分の長さのラック切断して、スタイロフォームでかさ上げします。
ゲージポートのテーパスリーブ作製の続きです。内径を１インチに広げて、イオンゲージを挿してみたところ。
端面をテーパ加工し、続いて突っ切ります。
テーパスリーブ部が完成しました。袋ナットで仮止めしてみます。
１２月２８日
アングルバルブに手動レバーを追加します。左からアルミで作ったキャップ、延長スリーブ、下がステンレスの偏心ブロックです。
コの字型の引きロッドをアルミで作製します。キャップに引きロッドが入る長穴を加工して、偏心ブロックを仮止めしてみます。
１２月２９日
ステンレス棒からレバーを切削します。
偏心ブロックとレバーをＴＩＧ溶接します。バルブは強いスプリングで押されているのでレバーは長めにしました。偏心ブロックの下には摩擦低減のテフロン板を挟みました。
オークションで購入した５インチのオシロ用のＣＲＴです。１個５００円で３個買いました。蛍光面と実験用電子銃／偏向板部を取り出します。
早速分解してみます。ＣＲＴ内を大気圧にてから、ガラス切りで蛍光面の周囲にキズを入れます。タコ糸にアルコー
ルを含ませて火を付けキズ部分を加熱して、濡れたタオルで冷やすと簡単に割れます。なかなかキズのとおり真っ直ぐには割れくれませんが、１個目は蛍光面を分解できたの
で、まあまあでしょうか。電子銃／偏向板の部分も割りたかったのですが、ひびが入りダメでした。
蛍光面のエッジはダイヤモンドホィールで面取りします。蛍光はガラスに塗られているだけで、定着していないので触ると取れてしまいます。慎重に扱います。
１２月３０日
ＣＲＴ分解の２個目です。電子銃／偏向板の部分を分解してみます。１個目のＣＲＴ分解はフリーハンドでキズを入れたので、今度はなるべく真っ直ぐキズが入るように旋盤に付けて回してみました。
分解する前にＣＲＴ内を大気圧にします。電動リュータにダイアモンドビットを付けて小さい穴を開けます。大気圧になると、ゲッターの周囲が白く変色していきます。
前回と同じタコ糸法で割りましたが真っ直ぐ割れませんでした（笑）。
ゲッターはすっかり無くなりました。２個目は蛍光面と電子銃／走査部に分解できました。
熱電対真空ゲージ用のシールドケーブルを作製しました。ケーブルのテストは良好です。
１２月３１日
ベルジャーベースに延長接続部を取り付けます。タップで６ｍｍのネジを６個立てます。まだベルジャーベースに排気用の穴は開けません。
フッ素ゴムのＯリングをはさんで６ｍｍのキャップボルトで固定します。
左はベルジャーベースの下からの写真です。アングルバルブを取り付けて油拡散ポンプの中も真空にしてみます。ポンプを起動すると、いつもの値まで下がりました。大きな漏れは無いようです。
２０１５年
１月１日
アングルバルブにＬ字ホースアダプタを取り付け、ゴムホースを分割して配管しました。アングルバルブのレバーが当たらない所までポンプを移動しました。ぎりぎりで入りました。
１月２日
ガイスラー管の電源がバラのままで感電しそうなのでＯＳＢに取り付けてまとめました。高圧のケーブルは二輪パーツ屋で購入したハイテンションコードです。ケーブルの先端にはワニ口クリップを付けました。
水冷バッフルと油拡散ポンプの水冷配管の準備です。ガレージの水の配管は元々、ＴＩＧ溶接機用（３００Ａトーチ）に配管してあり、現在は使用していません。左はガレージの水の入り口です。上へ伸びている配管は屋根のスプリンクラに繋がっています。ガレージへの配管は１０ｍｍのウレタンホースです。ウレタンホース用のワンタッチカプラをホースニップルに接続しておきます。
ガレージへの取込口で溶接器への配管を切断してホースを接続します。ホースはどこにも繋がず、ループにして外へ排出して漏れテストを行います。
追加したホースは漏れなく外に排出できることを確認しました。排出側のウレタンホースは延長して、ガレージの雨ドイに連結しました。
油回転ポンプの振動防止のスポンジをお風呂マットからスポンジゴムに交換しました。お風呂マットは硬すぎました。ラックに伝わる振動が少なくなりました。
ゲージポートの続きです。フランジを作製します。２０ｍｍ厚のＡ６０６３を切り出し、厚さを１５ｍｍにします。
フランジの中心にＣＮＣで２９ｍｍの穴開けます。テーパースリーブが少しきつめでちょうど嵌りました。
１月４日
写真が無いですが、前々日に完全にリークしなかったため、オイルが逆流しました。ガイスラー管の内までオイルでいっぱいでした（泣）。配管は一度、全部分解して石油で超音波洗浄した後、お湯と中性洗剤で洗い、その後スチーム洗浄しました。
ガレージ前扉の前のラックを正面左側に移動しました。
ゲージポートのフランジの続きです。４つ爪で掴んで、Ｏリングの溝を加工します。その後、溶接用の段加工をします。
テーパスリーブとフランジ部を溶接します。少しきついのでハンマで圧入して段を合わせて溶接しました。
袋ナットを締めて、３つ爪で掴んでからフランジの外形を加工します。
完成したゲージポートの部品です。右は仮組みしたところ。
オイルが逆流し、洗浄した部品を組み立て直しました。ほぼ以前の圧力まで下がるようになりました。
前日にホースリールを繋いだまま、一晩おいてしまったため、寒さで水が凍結して塩ビの部分の配管が割れていました（泣）。
