ジャンクで目指す走査型電子顕微鏡

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その１０：予備実験と装置の製作

２０１５年
４月４日
先週の続きです、フィードスルー代用プラグを６個に追加したベルジャー内を本引きしてみました。６ｘ１０ー３（Ｐａ）です。目標はー４乗（Ｐａ）でしたが、これで真空環境の整備は完了とします（笑）。

予備実験と機器を作っていきます。オークションでジャンクの高圧電源を購入しました。

欲しかったのは小型スライダックとその他の小物です。オムロンの通電時間カウンタ、電圧、電流計、スイッチなど。電流計は大きすぎました。

１９インチラックのパネルにスライダックの１００ｍｍの大穴を開けます。ガレージのＣＮＣフライスで一度で開けられる最大の大きさです。

早速、スライダックを固定してみます。電源スイッチとパイロットランプも追加しました。

４月５日
近所のホームセンタで購入したステンレスの６ｍｍの全ネジです。ベルジャー内のステーに使います。

Ｅｂａｙで購入した６３０Ｖの４．７ｕＦのフィルムコンデンサです。

早速、コッククロフト回路を作製します。６３０Ｖのコンデンサを直列に接続して耐圧を２倍に上げます。とりあえず１０段です。

ジャンク品から外したスライダックと以前に購入してたあった高圧トランスに１０段コッククロフト回路を接続します。高圧トランスのタップは３３６Ｖを使いました。コンデンサには入力電圧の２倍がかかります。１．０５＊３３６＊１．４１＊１．３＝６４７Ｖ、少しオーバしてる（笑）。

左はスライダックが１００Ｖの時、右は１３０Ｖの時です。１．０５＊３３６＊１．４１＊１０＝約５ＫＶ、１．０５＊１．３＊３３６＊１．４１＊１０＝約６．５ＫＶで合ってます。

貯まった電気は放電しないと危ないので１ＭΩでショートします。抵抗のリード線を近づけると空気中で放電します。時間を置くと少し電圧が復活？してくるみたいで、触ると感電します（笑）。

１０段の動作が問題なさそうなので１６段にしてみます。

１６段ではスライダックが１００Ｖの時が８．７ＫＶ、１３０Ｖの時で１１．１ＫＶになりました。結構、怖いです。これは実験用に使いますが、最終的には安定化させないといけません。

秋月のサーミスタ温度計を２個、１９インチラックに組込ます。パネルに手動フライスで角穴を開け温度計を取り付けます。作業をしていると、だんだんパネルの塗装にキズが付いてきました。再塗装が必要です。

４月１１日
先週の続きです。ばらばらの電気系を１９インチラックに収納していきます。油拡散ポンプのヒータ用温度計です。２ｍｍ厚の黒アクリルに表示ＬＣＤの穴あけを行い、パネルにも同じ大きさの穴をあけます。

続いて、通電時間カウンタの取り付け穴です。

ここから購入品。ネット通販で購入したＰＩＮフォトダイオードです。１０ｘ１０ｍｍの面積で保護用窓の無いタイプです。反射電子の検出に使えないか実験してみます。反射電子検出用の専用フォトダイオードも存在しますが価格が高いです。半導体の表面には普通パッシベーションという保護膜があるのですが、これが問題になるかもしれません。